Căutare
roCe este de fapt o napolitană cu safir
O napolitană de safir este un disc subțire de oxid de aluminiu monocristal care a fost orientat pe un plan cristalografic, miez dintr-o boală crescută, feliat, șlefuit și lustruit până la o grosime controlată, planeitate și finisare a suprafeței.
Safirul nu este nici sticla, nici acoperire. Este Al2O3 cristalin, materialul corindonului, motiv pentru care o napolitană finită combină duritatea Mohs 9 cu o bandă interzisă de aproape 8,6 eV și o transmisie utilă de la aproximativ 0,19 până la 5,5 micrometri.
Orientarea este prima decizie asupra oricărui desen, deoarece fixează ce poate fi crescut la suprafață și cum se comportă napolitana sub sarcină termică.
- c-plane (0001): valoarea implicită pentru GaN LED și epitaxie microLED, unde suprafața hexagonală se potrivește cu epistratul.
- r-plane: folosit pentru silicon-pe-safir, unde o peliculă subțire de siliciu este depus heteroepitaxial.
- a-plane și m-plane: orientări de cercetare nepolare, disponibile, dar mai greu de lustruit la aceeași rugozitate.
- Decupat: 0,2 grade spre axa a este o solicitare MOCVD comună, în timp ce 4 grade apar în cazul dispozitivului specific. Țineți toleranța strâns, deoarece deriva de tăiere modifică structura treptei în timpul creșterii.
Diametrul și grosimea se deplasează împreună. Dimensiunile obișnuite sunt 50,8 mm, 100 mm, 150 mm și 200 mm, cu grosimea crescând de la aproximativ 430 micrometri la 2 inchi la 650 la 4 inci și peste 1 mm la 6 inci, pur și simplu pentru că un disc subțire dintr-un cristal fragil nu va supraviețui manipulării de rutină.
Napolitane de safir în diametre și grosimi comune Examinați opțiunile de plachete cu un singur cristal de safir de la 2 la 8 inci, cu specificații de grosime, suprafață și planeitate pentru substraturi optoelectronice și LED. Vizualizare produs → De la Boule la Epi-Ready Wafer
Napolitanele de safir sunt produse în șase etape, iar fiecare etapă lasă o amprentă în certificatul care este expediat cu lotul.
Specificații care decid randamentul
Patru numere decid majoritatea deciziilor de acceptare: variația totală a grosimii, arcul și urzeala, rugozitatea față și toleranța de orientare. Orice altceva de pe desen îi sprijină pe cei patru.
| Parametru | Grad Epi și LED | Gradul optic | Dovezi de solicitat |
| Orientare și tăiere | c-plan cu tăietură de 0,2 grade | c-plan sau pe desen | Scanare cu difracție de raze X |
| Diametrul | 100 mm plus sau minus 0,2 mm | Pe desen | Harta chipului Edge |
| Grosimea | 650 micrometri plus sau minus 25 | 1 mm până la 5 mm | Grosimea map across the wafer |
| Variația totală a grosimii | 10 micrometri sau mai puțin | 2 micrometri peste deschidere | Tipul sondei și zona de scanare |
| Arc și urzeală | 25 de micrometri sau mai puțin | Planeitate un sfert de undă | Metoda de fixare și suport |
| Rugozitate față | Ra 0,2 nm, epi-gata | Ra 1 nm sau mai bine | Dimensiunea scanării AFM |
| Finisaj pe spate | Gravat sau lustruit | Pământ fin | Finisaj indicat pe certificat |
| Profil de margine | Pământ rotund cu teșit și crestătură | Marginea lustruită | Poza de orientare a crestăturii |
Safir, siliciu și cuarț unul lângă altul
Safirul este substratul de ales atunci când napolitana trebuie să supraviețuiască căldurii, chimiei sau luminii, nu atunci când trebuie să conducă electricitatea.
- Temperaturile de creștere de peste 1000 C exclud purtătorii polimerici și sticla de calitate scăzută.
- Suprafața trebuie să rămână transparentă de la vizibil în infraroșu mijlociu.
- Rezistența chimică și rezistența la zgârieturi contează mai mult decât costul pe centimetru pătrat.
- Dispozitivul are nevoie de un substrat izolator, cu pierderi reduse la frecvență radio.
- Placa în sine trebuie să transporte curent, unde siliciul este mai simplu și mult mai ieftin.
- Este necesară o transmisie ultravioletă profundă sub 190 nm, acolo unde safirul absoarbe.
- Răspândirea căldurii este factorul limitator într-o matrice de mare putere.
- Bugetul nu poate absorbi un substrat cu prețuri de mai multe ori peste o placă de siliciu de același diametru.
Numărul termic este cel care surprinde echipele de proiectare. Safirul conduce căldura de aproximativ patru ori mai rău decât siliciul și de aproximativ douăzeci și cinci de ori mai bine decât cuarțul topit, care este funcționabil pentru un singur emițător de putere redusă și dureros pentru o matrice densă de mare putere. Această proprietate determină o mare parte a interesului pentru substraturile modelate, transferul de peliculă subțire și lipirea plachetelor.
Napolitane de cuarț pentru aplicații optice și semiconductoare Comparați plachetele de cuarț de înaltă puritate cu expansiune termică scăzută și transparență UV-NIR pentru ghiduri de undă, MEMS, semiconductori și componente optice. Vizualizare produs → Unde napolitanele de safir își câștigă prețul
Substraturile de safir se plătesc singure în patru familii de aplicații, fiecare cu o specificație dominantă diferită.
GaN LED și epitaxie microLED
Napolitanele C-plane de 2 până la 6 inci transportă stiva care emite lumină. Controlul offcut și rugozitatea din față influențează calitatea cristalului și, prin urmare, eficiența cuantică externă, mai mult decât orice alt parametru de intrare.
Frecvență radio și silicon-pe-safir
Un substrat izolator reduce capacitatea parazită a comutatoarelor și filtrelor. Aici desenul este dominat de uniformitatea grosimii și planeitatea suprafeței, mai degrabă decât de transmisia optică.
Geamuri optice și capace pentru senzori
Safirul transmite de la vizibil la aproximativ 5,5 micrometri și rezistă la zgâriere în medii abrazive, așa că apare în ferestrele cu infraroșu, capacele LiDAR și porturile întărite ale camerei. Gama de aplicații de napolitană de safir în electronică și optică depășește cu mult iluminarea.
Napolitane purtătoare și false
Procesele la temperatură înaltă refolosesc suporturile de safir, deoarece materialul nu se înmoaie și nu eliberează gaze. Lustruirea prelungește durata de viață acolo unde regulile de contaminare o permit.
Ferestre optice Sapphire pentru utilizări de protecție și filtrare Vizualizați substraturi de ferestre din safir care oferă rezistență la zgârieturi, transparență ridicată și filtrare a lungimii de undă pentru lasere, fotodiode și sisteme de comunicații cu fibră optică. Vizualizare produs → Ce să verificați înainte de a comanda
Cinci verificări surprind majoritatea problemelor înainte ca un lot să ajungă la banca dumneavoastră de inspecție.
Dacă o specificație este ambiguă, rezolvați-o în faza de desen. Trimiteți desenul și cantitatea dvs. echipei noastre de ingineri, iar orientarea, finisarea și metoda de inspecție pot fi stabilite înainte de ofertă, mai degrabă decât după livrare.
Întrebări frecvente
Este o napolitană de safir același lucru cu o fereastră de safir?
Nu, accentul diferă. O plachetă este evaluată după variația totală a grosimii, curățenia particulelor și o suprafață frontală pregătită pentru epitaxie, în timp ce o fereastră este evaluată în funcție de transmisie, calitatea suprafeței pe o deschidere definită și finisarea marginii. Ambele pot fi tăiate din aceeași boule.
Pot fi refolosite napolitanele de safir?
Napolitanele purtătoare și false pot fi relustruite de mai multe ori atunci când contaminarea este controlată. Napolitanele Epi-ready, în general, nu pot, deoarece suprafața lustruită și bugetul de planeitate sunt consumate de primul ciclu de creștere.
Ce grosime ar trebui sa comand?
Urmați diametrul. Aproximativ 430 micrometri la 2 inchi, 650 la 4 inchi și 1 mm sau mai mult la 6 inci sunt puncte de plecare comune. Placile mai subțiri reduc masa termică, dar cresc riscul de rupere în timpul manipulării și transportului.
Am nevoie de o tăietură?
Pentru GaN crescut de MOCVD pe planul c, este tipică o mică tăietură de aproape 0,2 grade. Dacă procesul dvs. nu este sensibil la structura pasului, o placă nominală pe axă este mai ușor de găsit și, de obicei, mai puțin costisitoare.
苏公网安备 32041102000130 号